美国大片在线观看,国产精品久久,97人妻精品一区二区三区免费

產品中心

我的位置：首頁 > 產品中心 > HMDS烘箱 > HMDS預處理系統

P產品分類RODUCT CATEGORY

HMDS烘箱

HMDS鍍膜機 HMDS預處理系統 HMDS烤箱 HMDS預處理烘箱

A相關文章RTICLES

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備工業烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中，通常會用到一些例如藍寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底，這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想，這會導致后續的光刻顯影環節出現“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善，這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

01
更新日期
2025-09-17

02
廠商性質
生產廠家

03
瀏覽量
3253
HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在箱內先經過100℃-200℃的去水烘烤，再進行HMDS處理，不需要從箱內傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有更好的處理效果。

01
更新日期
2025-09-17

02
廠商性質
生產廠家

03
瀏覽量
2558
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）

智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。

01
更新日期
2025-09-17

02
廠商性質
生產廠家

03
瀏覽量
2139
智能型HMDS系統真空泵，HMDS涂膠機干泵

智能型HMDS系統真空泵，HMDS涂膠機干泵密封設計（電機和所有軸承與真空環路*隔開）延長了軸承的使用壽命，還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內置于泵模塊中，可根據需要使用，不會額外增加泵的高度。

01
更新日期
2025-09-17

02
廠商性質
生產廠家

03
瀏覽量
2604
HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑的裝置

HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，增加了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

01
更新日期
2025-09-17

02
廠商性質
生產廠家

03
瀏覽量
2229

共 17 條記錄，當前 3 / 4 頁首頁上一頁下一頁末頁跳轉到第頁