乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng)應(yīng)用

   乙烯基三甲氧基硅烷（VTMS）別名:三甲氧基甲硅烷基)乙烯, 三甲氧基乙烯基硅烷, 是含硅基和羥基的硅烷偶聯(lián)劑，可用于提高不同復(fù)合材料的潤濕性和超疏水性。VTMS可用于為TiO2、滑石、高嶺土、氧化鎂納米顆粒、磷酸銨以及PEDOT等不同材料提供超疏水性。 

  可以在各種材料表面形成均勻的潤滑保護(hù)膜，具有防水、防油、防塵的功能。因此，它常被用作表面處理劑，在紡織、皮革、紙張、塑料、金屬等材料的加工過程中，起到改善表面性能、提高產(chǎn)品質(zhì)量的作用。 

   在材料進(jìn)行表面改性，形成防水保護(hù)層，主要用于半導(dǎo)體、光電、生物新材料等表面處理工藝、機(jī)械乳化劑、橡膠粘結(jié)劑，化工油墨分散劑等用途。

乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng)性能

容量：1-12寸晶圓/方片、碎片兼容，及面板設(shè)備
材質(zhì)：內(nèi)箱采用優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼
使用溫度：80-1500℃ 
真空度：1000pa
人機(jī)界面：多個工藝儲存，一鍵運(yùn)行
VTMS控制:VTMS自動添加
真空泵：高性能無油渦旋泵

        半導(dǎo)體設(shè)備廠商上海雋思儀器，硅烷氣相沉積設(shè)備包含增粘劑硅烷(HMDS等）、抗黏劑硅烷沉積、脫模劑硅烷（PFTS）沉積、表面改性修飾硅烷處理等，精密熱板、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、智能型HMDS真空預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦洹o氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲存柜、超低溫試驗(yàn)箱、超低濕試驗(yàn)箱等環(huán)境可靠性設(shè)備。